Возник на месте села Троицкое (Богородское), принадлежавшего во второй половине 17 - начале 18 вв. князьям Репниным. Село Троицкое с церковью Святой Троицы упоминается в переписной книге 1646 г.В 1797 г. в селе основана суконная фабрика, к концу 19 - началу 20 вв. выросшая в крупное предприятие (ныне - Троицкая камвольная фабрика, реконструирована в 1980-х гг.).По материалам переписи населения 1926 г. в селе Богородском насчитывалось 70 жителей, посёлке Троицкой суконной фабрики - 999 жителей.С 20 августа 1928 г. - рабочий посёлок Троицкий.В конце 1940-х гг. в его южной части образован научный центр физических исследований АН СССР (ныне РАН) с переведённым из Ленинграда Институтом земного магнетизма. Институт физики высоких давлений (1965), Институт спектроскопии (1968), филиалы института атомной энергии им. Курчатова (с 1957 г.) и Физического института им. П.Н. Лебедева.